
原子層沉積多少錢
簡要描述:P 係列是 Forge Nano 針對工業包覆研發的粉末 ALD 負載係統,可實現 kg 級粉末批量包覆,是工業生產前理想的研發工具。【原子層沉積多少錢】
產品型號: P 係列
所屬分類:原子層沉積
更新時間:2024-09-20
廠商性質:其他
品牌 | 其他品牌 | 產地 | 進口 |
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產品新舊 | 全新 |
P 係列粉末原子層沉積係統【原子層沉積多少錢】
粉末包覆可有效提升材料性能與使用壽命,如鋰電正極或負極材料,經過表麵包覆處理後在放電性能及循環使用壽命方麵都有明顯提升,但目前工業的包覆手段以機械混合的幹法為主,該方法包覆均勻性較差,性能提升有限。ALD 技術可實現高精度及均勻包覆,是理想的包覆手段。Forge Nano 針對粉末類材料比表麵積大的特點,采用流化床技術實現粉末材料的流化,從而保證前驅體與粉末實現充分的接觸。P 係列是 Forge Nano 針對工業包覆研發的粉末 ALD 負載係統,可實現 kg 級粉末批量包覆,是工業生產前理想的研發工具。
產品規格【原子層沉積多少錢】
1. 前驅體通道:2-8
2. 腔室容量:0-600ml
3. 反應器溫度:450℃
4. 最高工藝溫度:200℃
5. 振動流化床反應器
6. 模塊:流化輔助,質譜,臭氧發生器,等離子體發生器
產品特點
P 係列是 Forge Nano 專為粉末 ALD 開發的研發級工具,可輕鬆實現 kg 的粉末包覆。使用流化床技術可保證粉末在反應器中的分散,有利於前驅體擴散。
流化輔助
粉末在長時間存放或流化不充分時容易出現團聚,導致無法形成理想的流化態。因此利用流化輔助模塊,高剪切氣流以及振動反應器的設計可衝散團聚顆粒,確保分散效果。
分區加熱
所有前驅體源均可獨立加熱,保證運輸條件,這對於部分低蒸汽壓的前驅體以及敏感的基底材料非常重要。P 係列也擁有*的閥門控製係統,可以實現多通道前驅體輸運。
在線監測
P 係列配置了氣體在線分析係統,對 ALD 工藝的改善有較大幫助,使用者可通過氣體成分判斷反應的完成度。
應用
鋰電池:鋰電正極或負極材料的包覆可有效提升其放電性能及使用壽命。常見的 NCM 與磷酸鐵鋰,在表麵包覆 Al2O3 等氧化物薄膜後,在經過多次放電後,仍可保持較高的能量密度。
3D 打印:3D 打印粉末存在腐蝕及表麵氧化的問題,會影響最終器件的性能。通過表麵塗層改性,可有效延緩氧化及腐蝕。傳統的包覆方式是在器件表麵進行 ALD 沉積,但對於 3D 打印粉末,直接對原材料粉末改性無疑是更有效的手段。
催化:催化反應大多數是發生在材料表麵的界麵反應,因此對於催化劑材料進行表麵構築改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末,纖維材料表麵生長高活性納米塗層,另一種方法是利用模板法結合 ALD 在表麵構築特定結構,暴露活性位點。此外,也可以在特定的顆粒表麵進行表麵包覆,防止催化劑燒結團聚。